Printéir teimpléad i bhfoirm
Is féidir dhá fhoirm a bheith ag priontáil stionsa, is é ceann stionsal priontála scáileáin, is é priontáil stionsal log an ceann eile.
Tá masc scáileáin déanta ar phhatrún masc an scáileáin, péinteáil trí phriontáil scáileáin don tsubstráit; bunaítear teimpléad log sa stionsal ar an patrún log, péinteáil trí na grafaicí log a phriontáil leis an tsubstráit. Ar ndóigh, níl aon stencil scáileán mar gheall ar thacaíocht mogalra, ní féidir aon nasc a bheith ann ar bharr an phatrún, agus ní mór don stionsal log an fhadhb nasc grafaicí log a mheas.
Is é priontáil stionsal scáileáin teicneolaíocht priontála tionscal T traidisiúnta le haghaidh priontáil scáileáin i bpróiseáil micrea-nano. Níl sé ar bith níos mó ná an patrún a dhéanamh ar an stionsal níos lú agus mogalra an scáileáin níos déine. Mar gheall air sin, mar gheall ar theorainn mogalra an scáileáin féin, is gnách go bhfuil roinnt de mhicéadairéad an patrún priontála scáileáin nó níos mó ná roinnt céadchéadiméadar. Is féidir an patrún ar an scáileán a chruthú tríd an modh nochtadh optúla ar an bhfótagrafaíoch. Tar éis don fhótagrafaíoch a fhorbairt, tá an scáileán déanta go nádúrtha. Tá buntáiste uathúil ag priontáil scáileáin feistí piezoelectric scannáin tiubh a dhéanamh. Toisc go bhfuil an t-ábhar piezoelectric den chuid is mó titanate leadzirconate (PZT) den chuid is mó, ní féidir an t-ábhar PZT a thaisceadh sna modhanna fisiceacha nó ceimiceacha thuasluaite, agus ní féidir é a phróiseáil i bpatrún trí mhodhanna eitseála traidisiúnta. Ag baint úsáide as modh priontála scáileáin, is féidir PZT a dhéanamh i sciodair agus ansin péinteáilte ar masc scáileáin. Ar an mbealach seo, is féidir scannán PZT níos déine a fháil. Agus is féidir leis an struchtúr patrún PZT atá ag teastáil a chruthú. Úsáidtear an teicníc seo go forleathan chun micrea-actuators tiomáinte PZT nó caidéil micreabhlóideach agus micrea-fheistí eile a dhéanamh. Is é struchtúr an mhéid micrea-ghléas sin réasúnta mór, is féidir le réiteach réitigh priontála scáileáin a dhéanamh go díreach.
Is teicneolaíocht priontála tionsclaíochta traidisiúnta é priontáil stencil Hollow freisin. Tá priontáil stionsa sceimhle agus priontáil stionsil difriúil ón ábhar clóite go díreach tríd an taiscí limistéir log chuig an tsubstráit. Is féidir é a chur i bhfeidhm trí phriontáil scáileáin, nó trí galú teirmeach a dhéanamh ar dhromchla an tsubstráit tríd an réigiúin log. Mar shampla, déantar an t-ábhar miotail a ghlanadh agus a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit chun patrún miotail a dhéanamh.